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韓國三星電子新EUV生產線開始量產
2020-02-21

[據美國半導體摘要網站2020年2月20日報道]2月20日,全球先進半導體技術的領導者三星電子有限公司宣布,其位于韓國華城的尖端半導體生產線已經開始量產。

據三星官網介紹,該生產線V1是三星第一個致力于極端紫外線(EUV)光刻技術的半導體生產線,芯片制造主要采用7納米以下的工藝制程。V1生產線于2018年2月動工,并于2019年下半年開始測試晶圓生產,第一批產品將在今年的第一季度交付給客戶。

三星電子(Samsung Electronics)總裁兼晶圓代工業務主管ES Jung博士表示:“除了技術領先和基礎設施之外,卓越的制造能力也是晶圓代工業務最重要的元素之一。隨著產能的增長,V1生產線將增強應對市場需求的能力,并擴大為客戶提供支持的機會!

V1生產線目前正采用7納米及6納米工藝技術生產最先進的移動芯片,并將繼續精細電路,直至3納米工藝節點。

按照三星的計劃,到2020年底V1生產線的累計總投資將達到60億美元,預計7nm及以下工藝節點的總產能是2019年的三倍。V1生產線與S3生產線將一起發揮關鍵作用,以滿足全球市場對晶圓代工技術的需求。

隨著半導體幾何尺寸變得越來越小,極紫外(EUV)光刻技術變得越來越重要,它可以縮小晶圓片上的復雜圖形,并為下一代應用(如5G、人工智能和汽車)提供最佳選擇。

隨著V1生產線的投入使用,三星目前在韓國和美國共有6條鑄造生產線,其中包括5條12英寸生產線和1條8英寸生產線。(國家工業信息安全發展研究中心 李茜楠)

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